▣ Wafer Transfer Robot으로, 웨이퍼 사이즈 300mm까지 대응이 가능합니다.

▣ Single Arm과 Double Arm 채용이 가능합니다.

▣ Z축은 350mm 까지 대응 가능하며, R축은 600 mm까지 대응 가능합니다.